项目名称

高纯电子气体新材料项目安全条件评价

评价类型

安全条件评价

委托方

合肥先微半导体材料有限公司

报告提交时间

2025年2月

项目概况

建设

单位

简介

合肥先微半导体材料有限公司成立于2022年04月02日，法定代表人董宜忠，公司类型为其他有限责任公司，住所为合肥市新站区文忠路与学府路交口合肥智慧产业园A14栋3楼302室，注册资本贰仟贰佰捌拾捌万叁仟贰佰玖拾陆万圆整。

建设

项目

简介

合肥先微半导体材料有限公司拟在合肥市新站区珠城西路与通宝路交口西北角建设高纯电子气体新材料项目，项目建成后年产300吨高纯四氯化硅（SiCl4）、年产200吨高纯三氯化硼（BCl3）、年产200吨高纯二氯硅烷（SiH2Cl2）、年产500吨高纯三氟化氮（NF3）、年产100吨高纯二氧化碳（CO2）、年产10吨高纯氦气（He）、年产300吨高纯氮气（N2）、年产300吨高纯氩气（Ar）、年产200吨高纯氧气（O2）、年产20吨高纯氢气（H2）、年产2650瓶磷烷氢气混合气（1%~8%PH3+99%~92%H2）、年产3000瓶乙硼烷氢气混合气（8%B2H6+92%H2）、年产1000瓶氟氮混合气（10%F2+90%N2）、年产2400瓶248激光气（0.95%F2+1.25%Kr+Ne）、年产14800瓶193激光气（分为两类气体成份，年产2400瓶0.95%F2+3.5%Ar+Ne，年产12400瓶13.5%Ar+10ppmXe+Ne）、年产10800瓶308激光气（分为三类气体成份，年产2400瓶0.5%HCl+Ne，年产2400瓶4.5%HCl+1%H2+Ne，年产6000瓶100ppm-10%H2+Ne），年处理20000只超洁净钢瓶。

地理位置和周边环境

该项目位于合肥新站化工园区B2区内，用地区域西侧与合肥鼎材科技有限公司（以下简称“鼎材科技”）生产厂区贴临，鼎材科技主要从事光阻剂、发光材料生产，其使用的危险化学品主要有丙烯酸类单体、丙烯酸树脂、光引发剂、丙二醇甲醚醋酸酯、3-甲氧基乙酸丁酯、丙二醇乙醚、环己酮；厂区北侧为安徽长城物流有限责任公司；厂区东侧为园区道路（通宝路），隔通宝路为合肥芯科电子材料有限公司；厂区南侧为园区道路（珠城西路），隔珠城西路为安徽元琛环保科技股份有限公司在建厂区。

评价项目组分工

姓 名

资质证书号

主要任务

参与项目时间

组长

胡友建

1800000000100083

负责项目风险管控及生产工艺部分

2024.08

组员

薛谟超

1600000000200625

负责安全及公辅工程部分

2024.08

郭宏山

1600000000200657

负责机械工程部分

2024.08

章亦军

1600000000200603

负责电气工程部分

2024.08

杨  健

1600000000200527

负责自动化工程部分

2024.08

报告编制人

胡友建、薛谟超

报告审核人

徐立春

技术负责人

崔  鑫

过程控制负责人

方  华

现场勘察照片：

现场勘察时间

2024-09-02

现场勘查人员

胡友建、薛谟超

报告公示

（皖WH20240900083合肥先微半导体材料有限公司高纯电子气体新材料项目安全条件评价报告）